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Fleuron光刻胶干型光刻胶的反向加工：在化学传感器封装中的应用:干簧传感器
一、引言近年来，干型光刻胶（PR）的应用日益受到关注，主要用于电镀模具或微流控结构的制造干簧传感器。通过堆叠多个层，实现了3D流体通道。本文提出将这种材料应用于反向加工工艺中，用于化学传感器的封
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一、引言近年来，干型光刻胶（PR）的应用日益受到关注，主要用于电镀模具或微流控结构的制造干簧传感器。通过堆叠多个层，实现了3D流体通道。本文提出将这种材料应用于反向加工工艺中，用于化学传感器的封