广州增芯申请MIM电容器件及其制备方法专利,利用防水层制备额外MIM电容器:电容器

金融界2025年3月27日消息,国家知识产权局信息显示,广州增芯科技有限公司申请一项名为“MIM电容器件及其制备方法”的专利,公开号CN 119677403 A,申请日期为2024年12月电容器

专利摘要显示,本发明实施例提供一种MIM电容器件及其制备方法,该方法包括:在已形成有前段半导体器件的衬底上形成互连层,互连层包括:位于器件区的金属互连层,其与前段半导体器件通过衬底的接触孔连接,包括多层互连金属层以及连接相邻互连金属层的互连通孔;以及和位于边缘区的第一MIM电容下极板,包括多层下极板金属层以及连接相邻下极板金属层的下极板通孔;在互连层的边缘区形成预设深度的防水层沟槽,且第一MIM电容下极板位于防水层沟槽的至少一侧壁的外侧;在互连层的表面沉积防水层;在防水层沟槽的表面形成第一MIM上极板金属层电容器。本发明利用防水层作为电容介电层,在不增加光罩的情况下在防水层沟槽处制备出了额外的MIM电容器。

天眼查资料显示,广州增芯科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业电容器。企业注册资本682000万人民币,实缴资本301000万人民币。通过天眼查大数据分析,广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目35次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息61条,此外企业还拥有行政许可166个。

来源:金融界

本站内容来自用户投稿,如果侵犯了您的权利,请与我们联系删除。联系邮箱:835971066@qq.com

本文链接:http://www.favor2003.cn/post/272.html